作為國內(nèi)幾乎是唯一的光刻機整機廠商，上海微電子裝備(集團)股份有限公司（SMEE，下稱“上海微電子”）IPO有了新動態(tài)。

近日，中信建投披露關(guān)于上海微電子首次公開發(fā)行股票并上市輔導(dǎo)工作進展情況報告（第十期）。

定位“賦有國家使命的市場化公司”

該份報告顯示，**截至目前，上海微電子已經(jīng)建立相對規(guī)范的公司治理結(jié)構(gòu)和內(nèi)部控制體系，但內(nèi)控制度制定以及實際執(zhí)行情況，與上市公司標(biāo)準(zhǔn)相比客觀上仍然存在一定差距，財務(wù)規(guī)范性也仍需進一步完善。

同時，上海微電子目前募集資金投資項目方案及募集資金需求測算，尚未規(guī)劃完成。**

關(guān)于下一階段IPO輔導(dǎo)，報告稱公司及相關(guān)中介機構(gòu)將繼續(xù)針對輔導(dǎo)中的不規(guī)范之處及仍存在的問題，研究協(xié)商，確定整改方案，指導(dǎo)公司加以落實，并對落實情況進行密切跟蹤檢查。

上海微電子系于2017年12月底與中信建投簽訂前述輔導(dǎo)協(xié)議并進行備案，彼時預(yù)計整個輔導(dǎo)將持續(xù)5個月，即會在2018年5月申請輔導(dǎo)驗收。但后續(xù)輔導(dǎo)及IPO工作遠落后于預(yù)期。

對比2017年底上海微電子備案報告中的股東名單以及最新的工商資料，可以看到期間部分股東有所變動。光大控股、興橙資本、金石投資旗下私募基金，以及精技智能裝備（南通）有限公司成為上海微電子新進股東。

其中，光大控股下屬機構(gòu)為上海微電子第股東，持股比例為12.6%。成都華西希望集團旗下的投資平臺上海光微青合投資中心（有限合伙），在啟動輔導(dǎo)后選擇退出。**

同時，上海微電子法定代表人也從核心創(chuàng)始人賀榮明變更為干頻，干頻目前同時擔(dān)任上海電氣副董事長。

上海微電子成立于2002年3月，定位“賦有國家使命的市場化公司”。自“十五”起，先后承擔(dān)了多個國家 IC 前道光刻機研制專項任務(wù)。在專項技術(shù)的輻射下，SMEE根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和信息技術(shù)發(fā)展趨勢與市場需求全面布局，開發(fā)了系列高端裝備，是國內(nèi)唯一具備制造多領(lǐng)域、多品種產(chǎn)線應(yīng)用的高端光刻機供應(yīng)商。

圖：上海微電子公司官網(wǎng)光刻機產(chǎn)品系列

據(jù)上海微電子最新發(fā)布的2024年人才招聘計劃介紹，公司近年營業(yè)收入復(fù)合增長率為33%，申請專利數(shù)共計3900項，獲得授權(quán)2800項，研發(fā)碩博占比70%。

上海微電子產(chǎn)品市場優(yōu)勢主要體現(xiàn)在其后道封裝光刻機領(lǐng)域。據(jù)上海微電子介紹，該公司先進封裝光刻機在全球市場的市占率為37%，在中國大陸市場的占有率高達85%。此外，公司LED系列光刻機全球市占率55%。

今年9月，上海微電子IC光刻機中標(biāo)珠海天成先進半導(dǎo)體科技有限公司光刻機采購，然而中標(biāo)設(shè)備依然為后道光刻機。

據(jù)華金電子孫遠峰團隊同步發(fā)布的研究報告，光刻機為先進封裝必要設(shè)備之一，相比前道光刻機用于芯片的制造，曝光工藝極其復(fù)雜，后道光刻機主要用于封裝測試，實現(xiàn)高性能的先進封裝，技術(shù)難度相對較小。

前道光刻技術(shù)方面，已可量產(chǎn)90nm的光刻機

值得關(guān)注的是，**在后摩爾定律時代，先進封裝技術(shù)突破對芯片算力提升亦至關(guān)重要。

**根據(jù)市場調(diào)研機構(gòu)Yole，先進封裝市場規(guī)模將從2021年的321億美元，增長到2027年的572億美元，CAGR達10.11%，并預(yù)計2025年先進封裝占比將接近于50%。其中在AI、HPC、HBM等應(yīng)用驅(qū)動下，2.5D/3D封裝近年在各封裝形式中增速較快。

方正證券研報顯示，2022年只有不到20%的數(shù)據(jù)中心使用2.5D封裝，但在2027年這一比例將有望超過50%；3D封裝將加速在HBM、CPU、GPU中的滲透。

后道封裝光刻機方面，2022年2月，上海微電子推出中國第一臺2.5D/3D先進封裝光刻機，并且正式交付客戶。

上海微電子董事長干頻曾在致辭中表示，本次發(fā)運的國內(nèi)首臺2.5D/3D先進封裝光刻機，是量產(chǎn)封裝光刻機的一次全面升級，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面積，將助力客戶實現(xiàn)芯片的異構(gòu)集成，以相對較低的成本實現(xiàn)芯片系統(tǒng)的性能提升。

在前道光刻技術(shù)方面，上海微電子目前已可量產(chǎn)90nm的光刻機。據(jù)中航證券電子團隊9月發(fā)布的研報，該公司目前最先進的設(shè)備為SSA600/20步進掃描投影光刻機，采用ArF光源，4倍縮小倍率的投影物鏡，高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術(shù)，可滿足IC前道制造90nm光刻工藝要求。

上海微電子今年7月接受清華高校調(diào)研時，公司人士表示，其28nm光刻機也有望取得突破。據(jù)了解，此前外界曾流傳上海微電子28nm光刻機推出時間為2021年，但類似的“小作文”幾乎每年一個時間版本，新版的發(fā)布時間節(jié)點將會是在2023年底，該消息從未被公司確證。

“國內(nèi)前道光刻機研發(fā)相比外國起步約晚50年左右，前道光刻機對于精度要求很高，制造難度遠遠高于后道光刻機等其他類型的光刻機，世界上只有少數(shù)企業(yè)可以生產(chǎn)?！鄙鲜龉救耸勘硎?，上海微電子在被列入名單之前就已經(jīng)受到了一些限制，比如某些仿真軟件很難買到，于是公司就開始嘗試自己開發(fā)替代品，產(chǎn)品精度與技術(shù)先進的公司進行對標(biāo)，直到達到他們的精度，以此來逐步降低對西方仿真軟件的依賴。

上市公司合作方面：

蘇大維格表示公司向上海微電子提供了光刻機用的定位光柵產(chǎn)品，該器件是該公司光刻機產(chǎn)品的重要部件。

茂萊光學(xué)半導(dǎo)體領(lǐng)域主要客戶為上海微電子，公司光學(xué)器件已成功進入上海微電子的供應(yīng)體系。

炬光科技為上海微電子等集成電路芯片設(shè)備集成商，提供半導(dǎo)體激光退火系統(tǒng)及核心元器件。

富創(chuàng)精密是全球為數(shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商。公司此前表示，將在現(xiàn)有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，逐步實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的國產(chǎn)化，助力國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)實現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備的自主可控。

金力泰此前公告，控股子公司上海金杜收到上海微電子簽署的《外協(xié)件采購?fù)ㄓ脳l款》，正式成為上海微電子的合格供應(yīng)商。

張江高科通過全資子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司，持有上海微電子11.73%股權(quán)。

阿為特半導(dǎo)體精密零部件樣品已送達上海微電子，通過供應(yīng)商標(biāo)準(zhǔn)審核，公司稱為未來拓展半導(dǎo)體產(chǎn)品奠定了基礎(chǔ)。