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1、分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的,并闡述了分子泵的抽氣理論,使機(jī)械真空泵在抽氣機(jī)理上有了新的突破。
2、分子泵的抽氣機(jī)理與容積式機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同,分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量,使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng),從而達(dá)到抽氣的目的。
3、通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。
4、因此,人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。
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