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氣浮導(dǎo)軌作為運(yùn)動(dòng)機(jī)械的一部分,通常與伺服驅(qū)動(dòng),傳感器組成閉環(huán)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)位移的高精度,高分辨率.。
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