湖南省兩個(gè)半導(dǎo)體領(lǐng)域的“技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目”完成項(xiàng)目綜合績效評價(jià)，近日順利完成驗(yàn)收，意味著這兩個(gè)半導(dǎo)體技術(shù)已成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

“8英寸集成電路成套裝備”項(xiàng)目由湖南楚微半導(dǎo)體和中電四十八所共同承擔(dān)，項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)8英寸集成電路成套裝備國產(chǎn)化替代，關(guān)鍵設(shè)備立式爐管、硅外延設(shè)備各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到國際同類設(shè)備領(lǐng)先水準(zhǔn)，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。

湖南楚微半導(dǎo)體常務(wù)副總經(jīng)理 易文杰：整個(gè)國產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行的狀況良好，產(chǎn)品良率也達(dá)到了進(jìn)口設(shè)備的水平，目前楚微公司的產(chǎn)能水平是2萬片每月，2024年底要達(dá)到5萬片每月。

“第三代半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目由中電四十八所承擔(dān)，重點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了6英寸SiC（碳化硅）外延生長等6項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)突破，裝備核心部件全部國產(chǎn)替代，滿足了規(guī)?；慨a(chǎn)工藝要求，支撐我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。

48所半導(dǎo)體裝備研究部主任 鞏小亮：我們目前也是在（與國際）基本同步研制8英寸的設(shè)備，并且初步實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化、工程化。我們預(yù)計(jì)在十四五期間，會達(dá)到每年50到100臺的穩(wěn)定產(chǎn)值，以及5到10個(gè)億的產(chǎn)出。

高科技產(chǎn)業(yè)的崛起，離不開強(qiáng)有力的政策支持。湖南連續(xù)三年部署實(shí)施“技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目”，全力做好資金、人才等要素保障，單個(gè)項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)支持高達(dá)1000萬。

湖南省科技廳高新處處長 王先民：在十四五期間，我們會繼續(xù)對半導(dǎo)體領(lǐng)域給予特殊政策支持，采取一事一議的方式，對于項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)、平臺、人才等等這一塊都有支持。

近年來，湖南全力推進(jìn)高水平技術(shù)創(chuàng)新，已全面掌握第六代IGBT核心技術(shù)，創(chuàng)造了第一臺離子注入機(jī)等30多項(xiàng)國內(nèi)第一，集成電路整線裝備國產(chǎn)化率達(dá)95%；全省建成功率半導(dǎo)體與集成技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等國家級創(chuàng)新平臺13個(gè)，科技創(chuàng)新動力澎湃。