MEMS開關(guān)就是MEMS技術(shù)的具體應(yīng)用。顧名思義，開關(guān)就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應(yīng)、準(zhǔn)確、重復(fù)使用頻率、高可靠性是現(xiàn)代電路系統(tǒng)對開關(guān)的特殊要求。