想必現(xiàn)在有很多小伙伴對(duì)于光刻機(jī)是干什么用的,工作原理是什么方面的知識(shí)都比較想要了解,那么今天小好小編就為大家收集了一些關(guān)于光刻機(jī)是干什么用的,工作原理是什么方面的知識(shí)分享給大家,希望大家會(huì)喜歡哦。
一般來說是用激光。
比如說要在玻璃上刻蝕圖形,大致步驟為:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蝕劑(即光刻膠有正性和負(fù)性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直寫、通過掩模板同時(shí)曝光等)、去膠(光刻膠曝光后性質(zhì)發(fā)生光化學(xué)變化,去膠的方法也很多,如放在刻蝕劑中,用正性膠的話,被光照到的地方就會(huì)被溶解,沒有光照到的地方光刻膠保留下來,到這里就已經(jīng)在光刻膠上刻蝕出了所需圖形)、清洗、轉(zhuǎn)移(方法更多,如離子束轟擊,光刻膠和玻璃同時(shí)被轟擊,光刻膠被轟擊完后,暴露出來的玻璃也被轟擊,就把光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到玻璃上)。
實(shí)際上,光刻的方法和具體步驟相當(dāng)復(fù)雜,對(duì)環(huán)境要求也非常高,以上只是基本步驟,讓你大致了解而已。
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