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濺射靶材是安裝在真空鍍膜機(jī)上鍍膜用的,可鍍導(dǎo)電膜、緣膜、裝飾膜、超硬膜、潤滑膜、磁性膜等功能薄膜。
靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)息息相關(guān),隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn),靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。
在存儲(chǔ)技術(shù)方面,濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等,也可應(yīng)用于玻璃鍍膜域,還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、裝飾用品等行業(yè)。
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